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閉循環(huán)低溫探針臺(tái)真空晶圓測(cè)試儀LH-CRPS-5K是性價(jià)比很高的一款無需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是多功能和優(yōu)秀的專業(yè)測(cè)量性能，為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。
豐富的選件和配置確保科研人員能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測(cè)試測(cè)量。LH-CRPS-5K是德世閉循環(huán)探針臺(tái)家族中，能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的探針臺(tái)，蕞低溫度低于5K。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置，確保溫度監(jiān)視和測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度，同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測(cè)試要求中這一點(diǎn)比較重要。
LH-CRPS-5K最大可安裝樣品臺(tái)直徑102mm(4in),出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺(tái)，直徑51mm(2in)
探針臺(tái)原理及應(yīng)用
德世的低溫探針臺(tái)為材料早期無損電性能測(cè)量提供了一個(gè)精準(zhǔn)的低溫磁場(chǎng)環(huán)境。探針臺(tái)是物理科學(xué)家和研究人員對(duì)材料研究的有利便捷工具、并且測(cè)試測(cè)量重復(fù)性一致性比較好。探針臺(tái)也可以作為一個(gè)靈活多用的公共測(cè)試平臺(tái)。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測(cè)量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測(cè)試以及其他類型的材料研究。
德世低溫探針臺(tái)提供了眾多的測(cè)試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對(duì)應(yīng)型號(hào)，以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺(tái)到專業(yè)平臺(tái)，每個(gè)德世探針臺(tái)都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以確保在整個(gè)溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測(cè)量。
閉循環(huán)低溫探針臺(tái)真空晶圓測(cè)試儀
特點(diǎn)
◆無需消耗制冷劑
◆全程無值守降溫
◆豐富的選件和配件
◆遠(yuǎn)程軟件控溫
◆德世能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)
◆可定制最大4in的樣品臺(tái)(標(biāo)配2in)
溫度結(jié)構(gòu)
1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源， 一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)
2. 防輻射屏包圍著樣品臺(tái)，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片
3. 兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)，在4.2K時(shí)有1.2W 的制冷量
溫度屬性 | ||
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
4.5K | 5K-350K | 2個(gè)探針臂 |
5.5K | 6K-350K | 4個(gè)探針臂 |
6.0K | 6.5K-350K | 6個(gè)探針臂 |
20K | 20K-675K | 高溫樣品臺(tái) |
控溫穩(wěn)定性 | |
溫度范圍 | 穩(wěn)定性 |
蕞低溫不控溫 | |
<10K | ±50mK |
10K-100K | ±10mK |
100K-250K | ±10mK |
250K-350K | ±20mK |
350K-500K | ±50mK |
真空性能 | |
室溫 | <5X10-3Pa |
蕞低溫 | <5X10-4Pa |
蕞高溫 | <5X10-2Pa |
注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到 | |
樣品振動(dòng) | |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注：可選低振動(dòng)配置，各方向振動(dòng)<1μm | |
時(shí)間參數(shù)：
◆抽空時(shí)間：0.5h(與泵組相關(guān))
◆降溫時(shí)間：從室溫到蕞低溫2h
◆升溫時(shí)間：從蕞低溫到室溫1.5h
樣品臺(tái)：
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)
◆蕞大樣品臺(tái)：102mm(4in)選配
◆樣品臺(tái)背光：無
◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)
◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：無
探針：
◆探針數(shù)量：蕞多6個(gè)
◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度：<20K樣品臺(tái)處于蕞低溫度
◆探針熱沉：熱沉到樣品臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏
◆探針臂：熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測(cè)量
◆光纖探針：用于光電測(cè)量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長(zhǎng)可選
探針位移：
◆X方向行程：50mm,移動(dòng)分辨率3μm
◆Y方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm
◆Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm
制冷劑消耗：
◆室溫到蕞低溫度：不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
◆液氮消耗(80K):不需要
探針臺(tái)配置
溫度配置 | |
樣品臺(tái)傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
二級(jí)制冷平臺(tái)傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂) |
溫度控制 | |
控溫儀型號(hào) | LH102C控溫儀 |
低溫輸液管 | 不需要 |
低溫液體儲(chǔ)存罐 | 不需要 |
支架 | |
支架尺寸 | 長(zhǎng)寬高660X660X640mm(不含地腳) |
地腳 | 4個(gè)橡膠減振地腳，承重500公斤 |
桌面 | 長(zhǎng)寬厚710X710X20mm |
真空腔體 | |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
外部直徑高度 | 245X170mm |
內(nèi)部直徑高度 | 215X165mm |
可視窗凈尺寸 | φ65毫米，紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空閥門 | KF16手動(dòng)擋板閥 |
放氣閥 | 手動(dòng)放氣閥 |
預(yù)留接口 | 預(yù)留通用安裝接口 |
探針引出口 | 六個(gè)真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同) |
防輻射屏 | |
材料 | 銅鍍金 |
外徑 | 182mm |
可視窗凈尺寸 | 45mm,配紅外吸收窗口 |
抽空泵組 | |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機(jī)械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽空減振塊 | |
抽空減振塊 | KF25進(jìn)出氣口，重量15公斤 |
配電要求 | |
單相電壓 | 220V/50Hz |
單相功率 | 1KW |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 8KW |
水冷要求 | |
制冷功率 | 8KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 4KW |
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